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1. 简介导光板（Light guide plate，LGP）是主要光斑形状为矩形、圆形，透过率超过 90%。匀光片对入射光的波长、入射角度变化不敏感，适合各种照明应用。2. 技术参数

产品指标：最细线宽0.8微米，线宽精度小于0.15微米

1. 简介光刻掩模版（Mask Reticle），是微纳加工技术中光刻工艺中使用的图形母版。由不透光的遮光薄膜和透光的图形组成。主要应用在如集成电路，印刷电路板，平板显示器，微纳光学元件等。我司的掩模板加工有两种方式：一为激光直写；另一为电子束直写。2. 技术参数  基板材料  苏打玻璃、石英最细线宽1 μm线宽误差0.15 μm基板尺寸  3” / 4” ...

产品指标：最细线宽20μm

产品指标：最细线宽约1.2μm

衍射分束元件可以将单束入射激光转变为多个激光束，并且保持光束质量和特性不变。多束激光的排布方式可以是一维、二维或者任意随机的排布；各束激光的能量可以是均匀的或任意分布的。